真空泵的分類
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按?真空泵的工作原理歸類
①抽除式,真空泵抽取體系中的氣體,并將氣體分子結構排向體系以外。
②捕集式。真空泵捕集體系中的氣體分子結構,可以直接粘附在泵工作任務壁面上而不排出體系。
按真空泵結構歸類
①機械式。這類真空泵相似于壓縮機,歸屬于容積型的有往復式與回轉式結構,也有歸屬于動力式的渦輪分子泵,兩者都歸屬于抽除式真空泵。
②噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩類形式,也有將兩者搭配在一塊的增壓泵,也都歸屬于抽除式真空泵
③吸附式。依靠物理或化學方法使氣體分子結構吸附在泵壁表面上,歸屬于捕集式真空泵。
按真空泵在體系中的工作任務職能作用歸類
①主抽氣泵。完成所需求的壓力的主要工作任務泵。
②預抽氣泵。當主抽氣泵無法在大氣環境狀態可以直接開始抽取時,需用預抽泵先抽至某一的壓力,主抽氣泵方能進入工作任務。
③前級泵。當主抽氣泵無法將所抽氣體可以直接排向大氣環境時,需串接前級泵輸送。
④保持泵。當主抽氣泵完成所需求的的壓力停止工作后,鑒于體系漏泄或表面上蒸發掉等緣故,的壓力很有可能增高,因而用保持泵持續抽取。